viber x5振动分析仪报价-昆山金斗云

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    2023-8-14

韩建明
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瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准,vc微振动标准分为:vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms,无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,区总代理viber x5振动分析仪,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。







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轴心轨迹(xy 图):用这个程序,你可以看见轴的相对轨迹。它利用两个垂直安装(呈 90 度角)的传感器,以显示出 x 值相对于 y 值的图形,主要用于分析滑动轴承的故障,如汽轮机、压缩机等大型高转速设备。

同步频谱 : 这个程序对减弱复杂信号频谱的背景噪声是很有用的。当你具有非常接近机器转速谐频的谱峰时,徐州viber x5振动分析仪,此功能能准确分析隔离非常接近于设备转速的频率及转速谐波的谱峰。







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重要讯息

安全须知

执行振动量测及平衡校正转动设备时,viber x5振动分析仪报价,必须---传感器及讯号线与转动体保持适当安全距离。执行转体配重作业时(由其是当机台以远端控制运转时)请遵照当地及国际安全规章进行作业,并确认电源开关及紧急开关双重安全装置皆运作正常,以避免发生工安事故!

vmi对于任何人员及设备之意外事故不负保障责任。







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